Skip to content

Вакуумно-плазменные процессы обработки кварца Владимир Ветошкин und Петр Крылов

Скачать книгу Вакуумно-плазменные процессы обработки кварца Владимир Ветошкин und Петр Крылов djvu

Практическая ценность работы Результаты диссертационной работы могут быть использованы при разработке процессов изготовления изделий из плавленого кварца, а также при финишной обработке подложек. Влияние обработки низкоэнергетическими ионами на шероховатость подложек из ситалла, поликора, кварца.

Целью настоящей работы является разработка экспериментальной установки для исследования обработки кварца в низкотемпературной плазме аргона, кислорода, фтор - и хлорсодержащих газов.

djvu, fb2, rtf, txt

Отклонение стенок от вертикали не обнаружено. Скорость травления БЮг радикалами хлора ниже, чем радикалами фтора из-за более низкой химической активности хлора. Чем выше уровень, тем более релевантно данное выражение. Узнать цену и наличие.

Расчёт фрактальной размерности проводился по озёрному алгоритму. Ионно-лучевое травление в хлорсодержащих газах 4. Вопросы статистической термодинамики жидкости На правах рукописи Николаева Ольга Павловна Вопросы статистической термодинамики жидкости Специальность: Высшая школа Москва Описание товара В работе описана новая конструкция и схема расположения катодного и анодного узлов разработанной установки ионно-плазменного травления микроструктур со сканируемым ВЧ - магнетроном, обеспечивающие высокие скорости ионного и реактивно-ионного травления различных материалов.

Разработанные конструкции и устройства могут быть использованы в лабораторных приборах, в технологических процессах изготовления изделий микромеханики и микроэлектроники.